不过,在国产光刻机突破之前,这也是迫不得已的办法。
当然,2011年NXT1980Di还没有发布。
王逸当下能买到的光刻机型号,是2009年推出的NXT:1950i,和今年刚推出的NXT:1960Bi。
其实1950i/1960Bi/1970ci/1980Di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38nm以上,多重曝光都能生产28nm、16nm、14nm、12nm,甚至7nm。
后续的NXT:1960Bi、1970Ci、1980Di,不过是在NXT:1950i进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。
像是三星台积电的未来几年的28nm、22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,很多都是用的NXT:1950i!
毕竟三星、台积电2016年量产10nm芯片的时候,NXT:1980Di光刻机才开始量产!
7nm之前的制程,三星台积电用的都是1950i、1960Bi、1970Ci等老型号。
只要不量产7nm,都没压力。
同样,王逸的12英寸晶圆厂,若是买到NXT:1950i和1960Bi,也能从明年的28nm,一直用到22nm、20nm、16nm、14nm、10nm,甚至7nm。
但今年刚出的1960Bi不太现实,估计阿斯麦不卖。
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