中芯国际,华力等企业,都是用NXT1980Di二重曝光,量产28-19nm的芯片。
同样,要用NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片,那就得靠多重曝光技术,对厂家的技术要求非常高,量产芯片的成本也很高。
最初,台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上EUV光刻机,才实现了完美的7nm。
但中芯国际买不到EUV光刻机,只能硬着头皮用NXT1980Di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。
幸好梁老能力突出,在多重曝光领域造诣颇深,硬是推出N+1、N+2工艺,用NXT1980Di这种落后的光刻机,实现了14nm、10nm,甚至7nm。
梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。
使得中芯国际的28nm工艺大规模量产,能满足大多数芯片需求。
14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。
可7nm制程,就要用NXT1980Di四重曝光,技术方面梁老都能解决,但良品率和成本就不好说了。
巧妇难为无米之炊。
拿着NXT1980Di当EUV3300用,真是太强人所难。
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